Perbedaan Utama – Etsa Kering vs Basah
Etsa pada dasarnya adalah penghilangan zat dari permukaan. Proses etsa yang berbeda telah ditemukan tergantung pada bahan yang akan dihilangkan. Etsa basah dan etsa kering adalah proses tersebut. Etsa basah dapat disebut etsa isotropik . Etsa kering bisa disebut etsa anisotropik . Proses etsa basah dan kering ini dapat dibagi lagi menurut teknik dan faktor lain yang mempengaruhi etsa. Perbedaan yang menonjol antara etsa kering dan basah adalah etsa kering dilakukan pada fase cair sedangkan etsa basah dilakukan pada fase plasma.
Topik bahasan kami tentang:
- Apa itu Etsa Kering? – Pengertian, Teknik, Aplikasi , Kelebihan dan Kekurangan 2. Apa itu Wet Etching – Pengertian, Teknik, Aplikasi , Kelebihan dan Kekurangan 3. Apa Perbedaan Etching Kering dan Basah – Perbandingan Perbedaan Kunci
Istilah Kunci: Anisotropik, Etsa Kering, Etsa, Isotropik, Fase Cair, Etsa Plasma, Fase Plasma, Etsa Basah
Yang perlu anda ketahui tentang Etsa Kering?
Etsa kering adalah proses etsa yang dilakukan pada fase plasma. Di sini, reaksi penghilangan material terjadi dalam fase gas. Etsa kering juga disebut etsa plasma . Proses ini dapat digunakan untuk membuat pola yang dirancang pada permukaan. Etsa kering dapat digunakan pada papan sirkuit tercetak. Ada dua jenis etsa kering.
- Etsa Berbasis Non-Plasma
- Etsa Berbasis Plasma
Etsa berbasis non-plasma menggunakan reaksi spontan dari campuran gas reaktif yang sesuai. Etsa berbasis plasma menggunakan daya frekuensi radio untuk mendorong reaksi kimia. Dalam pembentukan plasma, ruang dievakuasi dan diisi dengan gas atau gas. Frekuensi radio diterapkan. Frekuensi yang diterapkan ini dapat mempercepat elektron . Ini menghasilkan peningkatan energy kinetik di dalam ruangan. Elektron akan berkoloid dengan molekul gas netral. Ini menghasilkan pembentukan ion dan lebih banyak elektron. Ionisasi ini akhirnya menghasilkan pembentukan plasma. (Plasma adalah sistem yang terdiri dari jumlah kation dan elektron yang sama bersama dengan molekul netral.)
Gambar 1: Proses Etsa Plasma Hidrogen
Keuntungan dan kerugian
Ada banyak keuntungan dari proses etsa kering. Ini menghilangkan kebutuhan untuk menangani bahan kimia berbahaya. Ini menggunakan sejumlah kecil bahan kimia untuk etsa. Keuntungan utama adalah resolusi tinggi dan kebersihan yang dapat diperoleh dari etsa kering. Prosesnya juga mudah dikendalikan dan ditangani. Selain itu, etsa kering dapat dengan mudah diotomatisasi.
Tetapi ada beberapa kelemahan juga. Sebagai contoh, beberapa gas yang digunakan dalam etsa kering beracun dan korosif. Re-deposisi senyawa volatil merupakan masalah utama yang muncul ketika senyawa volatil digunakan. Cara ini cukup mahal karena diperlukan peralatan khusus.
Yang perlu anda ketahui tentang Etsa Basah?
Etsa basah adalah proses etsa yang dilakukan pada fase cair. Bahan kimia yang digunakan untuk proses etsa disebut etsa . Etsa basah menggunakan rendaman etsa untuk etsa. Tetapi metode ini tidak terlalu tepat. Namun, lebih mudah untuk menangani daripada proses etsa kering. Apa yang pada dasarnya terjadi dalam etsa basah adalah bahan yang akan dihilangkan dilarutkan dengan merendamnya dalam penangas kimia.
Gambar 2: Mandi Etsa Sulfat Tembaga
Keuntungan dan kerugian
Ini adalah proses paling sederhana yang dapat digunakan untuk etsa. Karena hanya membutuhkan rendaman bahan kimia sebagai larutan cair. Namun, kelemahan dari metode ini adalah rendaman kimia dapat melarutkan bahan yang dibutuhkan di permukaan juga. Maka dari itu, agen masking yang sesuai harus digunakan. Atau yang lain, bahan kimia yang perlahan melarutkan bahan permukaan (lebih lambat dari bahan yang harus dihilangkan) harus digunakan.
Perbedaan Antara Etsa Kering dan Basah
Definisi
Etsa Kering: Etsa kering adalah proses etsa yang dilakukan pada fase plasma.
Etsa Basah: Etsa basah adalah proses etsa yang dilakukan pada fase cair.
Fase
Etsa Kering: Etsa kering menggunakan bahan kimia fase gas.
Etsa Basah: Etsa basah menggunakan bahan kimia fase cair.
Keamanan
Etsa Kering: Etsa kering jauh lebih aman daripada etsa basah.
Etsa Basah: Etsa basah tidak aman karena membuang bahan kimia berbahaya dapat menyebabkan kontaminasi air.
presisi
Etsa Kering: Proses etsa kering lebih tepat.
Etsa Basah: Proses etsa basah kurang presisi.
Penggunaan Kimia
Etsa Kering: Etsa kering menggunakan sedikit bahan kimia.
Etsa Basah: Etsa basah menggunakan banyak bahan kimia.
Biaya
Etsa Kering: Etsa kering mahal karena peralatan khusus diperlukan.
Etsa Basah: Etsa basah tidak terlalu mahal karena hanya membutuhkan rendaman kimia.
Kata terakhir
Etsa kering dan basah adalah dua jenis utama proses etsa. Proses ini berguna untuk menghilangkan material permukaan dan membuat pola pada permukaan. Perbedaan yang menonjol antara etsa kering dan etsa basah adalah etsa kering dilakukan pada fase cair sedangkan etsa basah dilakukan pada fase plasma.
Sumber bacaan:
- “Pengetahuan Plasma: Etsa Kering.” Etsa Kering & Etsa Kering vs. Etsa Basah, 12 Feb. 2016, Tersedia di sini . Diakses 27 September 2017. 2. “Proses Etsa.” Memsnet, Tersedia di sini . Diakses 27 September 2017. 3. “Etsa (Microfabrication).” Wikipedia, Wikimedia Foundation, 23 Juli 2017, Tersedia di sini . Diakses 27 September 2017.
Sumber gambar:
- “Etsa plasma hidrogen” Oleh Pepinpeterkapichler – Karya sendiri (CC BY-SA 4.0) melalui Commons Wikimedia 2. “Mandi etsa tembaga sulfat” Oleh Ck517 – Karya sendiri (Domain Publik) melalui Commons Wikimedia
